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          02
          • 實驗室固定式面阻測量儀

          • Suragus面阻測試儀來自德國,其通過渦流的原理測量材料面阻值,該技術是一種非接觸式面阻測試技術且測試準確穩定,對于無損檢測、在線監測具有重要意義。
          • 02
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          簡介


          Suragus面阻測試儀來自德國,其通過渦流的原理測量材料面阻值,該技術是一種非接觸式面阻測試技術且測試準確穩定,對于無損檢測、在線監測具有重要意義。

           

          規格參數


          測量模式:非接觸式實時測量

          襯底:foils, glass, wafer等

          平臺尺寸:8 inch / 204 x 204 mm(其他規格請聯系)

          面阻范圍: 0.0001 to 3,000 Ohm/sq

          薄膜厚度:2nm – 2mm(依據面阻而定)

          設備尺寸:11.4 x 17.5 x 5.5 inch / 290 x 445 x 140 mm@10 Kg

           

           

          功能圖解


           

           

           

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          平臺尺寸:8 inch / 204 x 204 mm(其他規格請聯系)

          面阻范圍: 0.0001 to 3,000 Ohm/sq

          薄膜厚度:2nm – 2mm(依據面阻而定)

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